激光刻蚀与其它刻蚀工艺比较

激光刻蚀与同类工艺相比具有明显优势，自动化技术水平的提升催动加工设备的市场需求井喷激光刻蚀的基本原理是将高光束质量的激光束聚焦成极小光斑，在焦点

处形成高功率密度，使材料在瞬间汽化蒸发，形成孔、缝、槽。其加工工艺包括激光微纳切割、划片、刻蚀、钻孔等。

激光刻蚀具有无接触性、柔性化程度高、加工速度快、无噪声、热影响区小、可聚焦到激光波长级的极小光斑等优越特性，可以获得良好的尺寸精度和加工质量，在太阳能电池、电子半导体材料等对加工精度和工艺控制要求较高的领域中应用十分广泛，相关加工设备的市场需求增长较快。

精密材料加工领域，除激光刻蚀方式外，还存在湿法刻蚀、等离子刻蚀等加工工艺，各工艺特点：

传统的激光刻蚀工艺与湿法刻蚀、等离子刻蚀工艺相比，优点在于精度控制较好、无污染、成本较低，缺点在于刻蚀速度偏低，难以满足大批量的生产需要。近年来，随着自动化控制工艺水平和激光加工技术的进步，激光刻蚀工艺的生产效率得到明显提升，优势逐步凸显，使用激光刻蚀工艺的激光加工设备的市场需求出现井喷，在太阳能电池制造业和电子半导体工业产业中迅速普及，并可推广应用于需要精密加工的各类行业。